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6.反射镜和聚焦镜片被污染----用清洁液清洗反射

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6.反射镜和聚焦镜片被污染----用清洁液清洗反射镜、聚焦镜。5.保护气不通---清理气泵、空气过滤器、检查气循环通路。4.气嘴出光口被溅射物堵塞----清理气嘴。3.电压不稳定、电压较低

  6.反射镜和聚焦镜片被污染----用清洁液清洗反射镜、聚焦镜。5.保护气不通---清理气泵、空气过滤器、检查气循环通路。4.气嘴出光口被溅射物堵塞----清理气嘴。3.电压不稳定、电压较低激光电流过小更换更大的稳压器、增大激光电流输出。2.焦距调整不当----重新调整焦距。

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