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  如图6所示,本实验系统主要包括1064nm光纤-固体混合型皮秒激光器、光束变换系统、光束聚焦系统和真空吸附直线电机运动平台,激光器的最高功率为32W。实验检测设备为欧米特金相显微镜(SEM)和光学显微镜,评价切割边缘崩边量和边缘视觉效果

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